产品系列
全部产品基于层流差压原理。流量计（MFM）与流量控制器（MFC，型号带 C）一一对应；压力控制器（VPC）分单阀和双阀。
标准型系列
VS02 / VSC02
通用气体测量与控制。适用面最广的基础系列。
- 量程0.5 SCCM – 5000 SLPM
- 精度±max(0.6%RD, 0.1%FS)
- 气体种类124 种
高精度系列
VH02 / VHC02
计量、研发与高要求配比。全量程分档精度均高于标准型。
- 量程0.5 SCCM – 5000 SLPM
- 精度±max(0.5%RD, 0.1%FS)
- 气体种类124 种
低压损系列
VL02 / VLC02
压损敏感的气路。兼顾低压损与耐压性能。
- 量程0.5 SCCM – 500 SLPM
- 精度±max(0.6%RD, 0.1%FS)
- 气体种类124 种
耐腐蚀系列
VK02 / VKC02
腐蚀性气体。接气材料 316L 不锈钢与 FFKM。
- 量程0.5 SCCM – 5000 SLPM
- 精度±max(0.6%RD, 0.1%FS)
- 气体种类137 种
压力控制器
VPC01 / VPC02
单阀用于正压或背压控制；双阀可升压、可降压，适用于密闭容积。
- 压力量程1 MPaG
- 测量精度±0.25%FS
- 控制响应<100 ms