参数对比
流量计与流量控制器共用同一套层流差压测量平台，控制器另加比例阀与控制功能。
| 项目 | 流量计 VS02 | 流量控制器 VSC02 |
|---|---|---|
| 量程 | 0.5 SCCM – 5000 SLPM | 0.5 SCCM – 500 SLPM |
| 精度（10 SCCM – 20 SLPM） | ±max(0.6%RD, 0.1%FS) | |
| 重复性（10 SCCM – 20 SLPM） | ±max(0.1%RD, 0.02%FS) | |
| 量程比 | 1:1000，可选 1:10000 | |
| 响应时间 | 测量 < 10 ms | 测量 < 10 ms；控制最快 < 100 ms |
| 上电预热 | < 1 秒达到精度范围 | |
| 气体种类 | 124 种（含湿空气与预定义混合气，不含腐蚀性气体）查看列表 → | |
| 工作压力 | 0–1.0 MPaG | |
| 最大耐压 | < 1.2 MPaG | 1.2 MPaG |
| 最大压差 | 0.6 MPaD | 1.2 MPaD |
| 工作温度 | −10 至 60 ℃（可扩展至 −20 至 70 ℃） | |
| 年漂移率 | 小于 0.1%FS（置于干净无腐蚀气体中） | |
| 供电 | 4.75 – 30 VDC；2 W | 4.75 – 30 VDC；0.5 SCCM – 20 SLPM：5 W，50 – 500 SLPM：15 W |
| 电源接头 | USB Type-C、DB9 公头 | |
| 数字接口 | Modbus RTU（RS485）、USB（USB 转串口） | |
| 模拟量 | 0–20 mA / 4–20 mA / 0–5 VDC / 1–5 VDC / 0–10 VDC（软件可选） | |
| 防护等级 | IP40 | |
| 接气材料 | 304 不锈钢、铝、金、氧化铝陶瓷、玻璃、环氧树脂、硅胶、硅 | 300 系列不锈钢、400 系列不锈钢、铝、金、氧化铝陶瓷、玻璃、环氧树脂、硅胶、硅 |
| 密封材质 | 标配 FKM，可选 EPDM、NBR 等 | |
精度与重复性
按型号的标称满量程分档，不按当前读数切换档位。RD：流量读数；FS：标称满量程；max：两项取较大值。以上指标是在流量清零后，且温度、压力和湿度平衡的条件下测得。
| 量程 | 0.5 SCCM – 5 SCCM | 10 SCCM – 20 SLPM | 50 SLPM – 5000 SLPM |
|---|---|---|---|
| 精度 | ±(0.8%RD + 0.2%FS) | ±max(0.6%RD, 0.1%FS) | ±(0.8%RD + 0.2%FS) |
| 重复性 | ±(0.2%RD + 0.02%FS) | ±max(0.1%RD, 0.02%FS) | ±(0.2%RD + 0.02%FS) |
| 量程 | 0.5 SCCM – 5 SCCM | 10 SCCM – 20 SLPM | 50 SLPM – 500 SLPM |
|---|---|---|---|
| 精度 | ±(0.8%RD + 0.2%FS) | ±max(0.6%RD, 0.1%FS) | ±(0.8%RD + 0.2%FS) |
| 重复性 | ±(0.2%RD + 0.02%FS) | ±max(0.1%RD, 0.02%FS) | ±(0.2%RD + 0.02%FS) |
过程连接
所有接口均为内螺纹。
| 量程 | 标配接口 | 可定制接口 | 排气压损 |
|---|---|---|---|
| 0.5 – 5 SCCM | G1/8 | M5、PT1/8、NPT1/8 | <6.5kPaD |
| 10 SCCM – 20 SLPM | G1/8 | PT1/8、NPT1/8 | <10kPaD |
| 50 – 100 SLPM | G1/4 | PT1/4、NPT1/4 | <10kPaD |
| 250 SLPM | PT1/2 | G1/2、NPT1/2 | <12kPaD |
| 500 – 1000 SLPM | PT3/4 | G3/4、NPT3/4 | <15kPaD |
| 2000 – 3000 SLPM | PT1 | G1、NPT1 | <20kPaD |
| 5000 SLPM | PT2 | G2、NPT2 | <20kPaD |
| 量程 | 标配接口 | 可定制接口 | 入口压力范围 |
|---|---|---|---|
| 0.5 – 100 SCCM | G1/8 | PT1/8、NPT1/8 | 20–1000kPaG |
| 200 SCCM – 1 SLPM | G1/8 | PT1/8、NPT1/8 | 30–1000kPaG |
| 3 – 10 SLPM | G1/8 | PT1/8、NPT1/8 | 50–1000kPaG |
| 20 SLPM | G1/8 | PT1/8、NPT1/8 | 100–1000kPaG |
| 50 – 100 SLPM | G1/4 | PT1/4、NPT1/4 | 100–1000kPaG |
| 250 SLPM | PT1/2 | G1/2、NPT1/2 | 300–900kPaG |
| 500 SLPM | PT3/4 | G3/4、NPT3/4 | 350–650kPaG |
排气压损：在干空气、20 ℃、0.1 MPaA 条件下，出口通大气、入口接气源，达到标称满量程时入口与出口之间的压差。入口压力范围按标称满量程、出口排空时的标准型号给出，可按需求定制。