电力设备
SF₆ / N₂ 混气灌充
SF₆N₂
SF₆ 减量后，混气比例要配得准。我们不只提供 MFC，也帮设备厂家把气路和用法做对。
30% SF₆ + 70% N₂，设备厂家出厂浓度控制在 ±0.5 个百分点内
电力设备C₄F₇N 三元气体配比
C₄F₇NO₂CO₂
C₄F₇N 物性已内置，选择气体即可测控，并可配合解决液化问题。
气体列表直接选择，已达到客户认可的精度
分析仪器SF₆ / C₄F₇N 分析仪校准配气
SF₆C₄F₇N多路配气
用较少种类的标气配出多个校准浓度，减少采购成本与气瓶占用空间。
减少标气种类与气瓶储备，校准浓度灵活配置
电子材料石英纤维拉丝供气
H₂O₂
稳定控制氢氧供气，减小入口压力波动的影响，让拉丝火焰更稳。
入口压力波动影响小，火焰稳定，减少反复调参
环保监测监测站分析仪进气配比
温压补偿质量流量
监测站内温度会变，MFC 仍然控制真实流量，为分析仪稳定配气。
温度变化时，实际送入的气体量依然准确
泄漏检测大容积与高压微泄漏检测
微小流量低压损
低压损、耐压能力强，适合大气容积和高压下的微泄漏检测。
在高压和大容积场景下，仍能测量微小泄漏流量
电池材料硅碳负极材料硅烷供气
SiH₄CVD
用于硅烷供给控制，压力灵敏度和气体渗透率表现良好，并共同评估长期运行条件。
已有硅烷应用经验，配合工艺做长期运行评估
半导体装备常温直接键合装备供气
Ar两路控制
两路氩气控制，在客户现场连续运行一年多，状态稳定。
真实半导体设备运行一年多，状态稳定
高校科研质谱仪进样气量控制
进样控制实验气路
按实验需要控制进入质谱仪的气量。
围绕具体实验任务，匹配流量与接口