SF₆ / C₄F₇N 分析仪校准配气

用较少种类的标气配出多个校准浓度,减少采购成本与气瓶占用空间。

减少标气种类与气瓶储备,校准浓度灵活配置
客户现场配气仪内部安装的多台 VISLAM 质量流量控制器(MFC)
客户现场实拍:配气仪内安装的 VISLAM MFC

应用需求

SF₆、C₄F₇N 浓度分析仪校准需要多个已知浓度点。逐一采购不同浓度的标气,成本高,也占用气瓶存放空间。

难点

用较少种类的标气与稀释气配出多个浓度点,既要比例准确,也要重复配制一致。

我们的做法

用 MFC 分别控制标气与稀释气,调整流量比例即可切换校准浓度。结合 SF₆、C₄F₇N 的测控经验,兼顾配气精度与重复性。

告诉我们气体、流量和压力

工程师给出完整型号,并附上对应的规格书。

0755-23097806

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