高性能气体质量流量控制器
为朗仪表的V系列气体质量流量控制器，采用层流差压原理对气体流量进行测量。内置的压力传感器模块根据流体特征专门设计。具有过压能力强，漂移低等优点。层流元件采用有限元仿真对流体特征建模后进行实验验证。确保在不同温度、压力和气体类型下测量的准确性。高性能的VPC比例阀具有长寿命和低内漏率等特征。
现代的设计
配备IPS触摸屏，带来更好显示体验的同时简化了操作的流程，降低部署的成本。
USB及虚拟串口，方便用户直连电脑，省掉接线的烦恼。
Portable理念带来的宽压输入设计，使得V系列流量计/控制器可采用移动电源供电，随时变身便携式。
多参数
可同时在线测量并采集气体的流量、温度、压力和密度等参数。可节省传感器的部署种类和数量，降低采购及维护成本。
安全灵活的接口
提供MODBUS RTU工业通讯协议和集成了模拟信号(0-20mA, 4-20mA, 0-5, 1-5V, 0-10V)的输入输出。通过触摸屏幕及软件可以设置不同类型的信号。以便同一流量计/控制器在不同信号需求场景时的普适性，可降低仪表库存，节约大量资金。DB9工业接口所有线路采用安全设计，即使错误接线也确保仪表安全，降低维修成本。
| 仪表性能 | |||
|---|---|---|---|
| 量程 | 0.5SCCM-5SCCM2 | 10SCCM-20SLPM2 | 50SLPM-5000SLPM2 |
| VS精度1 | ±(0.8%RD + 0.2%FS) | ±(0.6%RD 或 0.1%FS) | ±(0.8%RD + 0.2%FS) |
| VH精度1 | ±(0.6%RD + 0.2%FS) | ±(0.5%RD 或 0.1%FS) | ±(0.6%RD + 0.2%FS) |
| 重复性1 | ±(0.2%RD + 0.02%FS) | ±(0.1%RD 或 0.02%FS) | ±(0.2%RD + 0.02%FS) |
| 量程比 | 1:1000(1:10000可选) | ||
| 温度灵敏度 | Zero:±0.01%FS/℃（清零可消除） Span: ±0.01%RD/℃ | ||
| 压力灵敏度 | Zero: ±0.01%FS/ATM(清零可消除) Span: ±0.1%RD/ATM | ||
| 湿度灵敏度 | Zero: ±0.002%FS/%RH(清零可消除) Span: ±0.001%RD/%RH | ||
| 工作温度 | -10-60℃ (可扩展至-20-70℃) | ||
| 工作压力 | 0-1.1MPaA | ||
| 温度测量精度 | -20-50℃: ±0.1℃ 50-70℃: ±0.15℃ | ||
| 绝压测量精度 | 0-0.1MPaA: ±200Pa 0.1-1.1MPaA: ±0.5%RD | ||
| 流量测量响应时间 | 小于10毫秒(取决流量大小和用户设定的滤波级数) | ||
| 控制响应时间 | 最快小于100毫秒(取决于流量大小和PID参数设置) | ||
| 上电预热时间 | 小于1秒(达到精度范围内) | ||
| 年漂移率 | 小于0.1%FS(置于干净无腐蚀气体中) | ||
| 累积器精度 | ±0.2%RD附加误差 | ||
| 气体种类 | 134（包含混合气体） | ||
| 可编辑混合气体 | 20种(Carr, Wilke, VMX三种混合模型可选) | ||
| 供电电压 | 4.75-30V | ||
| 工作功耗 | 1.5W(屏幕最高亮度) | ||
| 电源要求 | 4.75-30V, 2W | ||
| 电源接头 | USB Type-C, DB9公头 | ||
2.当前版本的控制器只支持满量程10SCCM-500SLPM的型号。
| 机械结构 | |
|---|---|
| 最大耐压 | 1.2MPaG |
| 最大压差（左->右） | 0.6MPaD，超过此压差传感器可能损坏 |
| 最大压差（右->左） | 0.3MPaD, 超过此压差传感器可能损坏 |
| 防护等级 | IP40 |
| 湿度范围 | 0-95%不结露 |
| 接气材料 | 300系列不锈钢, 400系列不锈钢，铝, 金, 氧化铝陶瓷, 玻璃, 环氧树脂, 硅胶, 硅 |
| 密封材质 | 标配FKM. 可选EPDM, NBR等材质 |
| 过程连接 | |||
|---|---|---|---|
| 量程 | 标配接口 | 可定制接口 | 入口压力范围(满量程流量出口排空时)1 |
| 10-100SCCM | G1/8″ | PT1/8″, NPT1/8″ | 20-1000KPaG |
| 200SCCM-1SLPM | G1/8″ | PT1/8″, NPT1/8″ | 30-1000KPaG |
| 3SLPM | G1/8″ | PT1/8″, NPT1/8″ | 50-1000KPaG |
| 5SLPM | G1/8″ | PT1/8″, NPT1/8″ | 50-1000KPaG |
| 10SLPM | G1/8″ | PT1/8″, NPT1/8″ | 50-1000KPaG |
| 20SLPM | G1/8″ | PT1/8″, NPT1/8″ | 100-1000KPaG |
| 50SLPM | G1/4″ | PT1/4″, NPT1/4″ | 50-1000KPaG |
| 100SLPM | G1/4″ | PT1/4″, NPT1/4″ | 100-1000KPaG |
| 250SLPM | PT1/2″ | G1/2″, NPT1/2″ | 300-900KPaG |
| 500SLPM | PT3/4″ | G3/4″, NPT3/4″ | 350-650KPaG |
*所有接口均为内螺纹
| 通信 | |
|---|---|
| 数字接口 | Modbus RTU (RS485), USB (含USB转串口) |
| 模拟量 | 0-20 mA, 4-20 mA, 0-5 VDC, 1-5 VDC, 0-10 VDC (软件可选) |
| 控制信号 | 流量清零 (2.75-30VDC使能) |
| 模拟量数据更新速度 | 10毫秒 |
| 模拟量精度 | ±0.1% 满量程误差 |
| 数字量数据更新速度 | 正常3毫秒， 最大7毫秒 |
VISLAM TOOLKIT
V系列气体层流控制器资料